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七星流量計金屬密封MFC加“大流量”了
發布時間:2021-03-26
  氣體質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制,大量應用于半導體領域。金屬密封大流量氣體質量流量控制器,在CVD、PVD、清洗機等設備上起著關鍵作用,但它的技術壁壘高、開發難度大,導致長期依賴進口。


  北京七星華創流量計有限公司作為一家專注流量測控領域40余年的企業,為打破這一局面,組建了金屬密封大流量項目攻關團隊,耗時20個月,終于在2020年8月完成了CS330金屬密封大流量產品的研發工作,經過半導體行業客戶驗證后逐步優化,最終走向產業化。




  金屬密封大流量CS330產品研發不斷創新。在部件選擇上,采用了全金屬密封大流量調節閥和大流量分流器,并選用體積小、零漂小、抗干擾能力強的傳感器,從根本上夯實了產品基底;在結構設計上,采取了新型金屬密封結構,不僅密封更可靠,還降低了裝配難度,保證了產品的一致性;在技術創新上,新型低噪聲、高抗干擾信號的傳感器驅動技術,增強了產品的抗干擾能力,提高了產品的準確度及穩定性;在生產制造上,采用了高精密金屬加工及表面處理技術,采用機器人對零件進行表面拋光,保證表面粗糙度一致性的同時,提高了生產效率。


  隨著半導體設備需求的增長,金屬密封大流量MFC產品的需求量也隨之增長,目前北方華創作為創新主體已經行動起來,未來將繼續依靠創新驅動和高質量生產,引領和創造新的產業增長極。



人工智能的機器人、拋光部件




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