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北方華創300mm立式爐榮獲“IC創新獎"
發布時間:2021-04-09
  3月20日,中國集成電路行業具有影響力之一的“2021中國集成電路創新聯盟大會”在北京和上海兩大主會場舉行,會上頒發了第四屆集成電路產業技術創新獎(簡稱“IC創新獎”)。北方華創憑借“應用于存儲器領域的300mm立式氧化爐”項目,在126家單位申報的159個參選項目中脫穎而出,斬獲“IC創新獎”成果產業化獎。


  中國集成電路創新聯盟主辦的“IC創新獎”,由國內集成電路產業技術領軍人才、戰略科學家以及申報項目所屬領域的頂級權威專家等提名評審,經國家科技部備案,是集成電路產業最重要的技術獎項之一。其中,“成果產業化獎”旨在表彰集成電路創新成果產業化推進和市場拓展上取得突出業績的產品。北方華創300mm立式氧化爐,自2017年底進入國內高端3D NAND生產線以來,氧化、退火工藝不斷優化,最終通過客戶端驗證并已實現多次重復采購,其自動化程度、穩定性、技術指標等多方面可媲美國際先進水平,得到客戶的普遍認可。此外,該產品還在Logic、Power等領域實現廣泛應用。截至目前,該產品總裝機量已超過百臺,實現了國產300mm立式爐產業化發展的歷史性突破,技術創新成果經過了大規模量產推廣應用。



  大會頒獎材料中指出:北方華創作為我國集成電路制造領域的先進企業,長期堅持在產業研發的第一線,創新成果豐碩。自2007年北方華創300mm立式氧化爐項目研發開始,北方華創立式爐團隊以創新發展“拓荒?!钡木?,承擔起發展中國高端裝備的歷史使命。十余年來,團隊成員一起攻堅克難,在技術積累極其薄弱的背景下,聚焦客戶需求,整體設計、長遠布局、重點突破、構建體系,為中國集成電路產業做出了重大貢獻。



  從無到有,從有到優,從優到精,經過十余年艱苦努力,北方華創300mm立式氧化爐產品的成功研發引領了我國集成電路裝備產業鏈的創新升級,構建了較為完備的創新體系,積蓄了以客戶為導向的創新能力,為產業發展持續貢獻力量。

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