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小而非凡,北方華創助力MicroLED產業發展
發布時間:2021-04-16
  2020年以來,MiniLED背光應用蓬勃發展,小間距LED商用顯示產品悄然普及,市場需求大規模放量,北方華創多款產品在海內外各大主流產線中均有大量應用。更小尺寸的MicroLED的芯片制作對設備提出了更高的要求,NAURA積極布局相關設備研發,產品覆蓋ICP ETCH、PECVD、PVD(AIN sputter、Metal sputter、ITO sputter)、ALD等設備種類。



  在傳統ICP刻蝕設備的基礎上,NAURA LED ICP刻蝕設備對上下電極系統、加熱控溫系統進行了優化設計,實現了刻蝕均勻性的有效提升,能夠滿足MicroLED芯片的均勻性及邊緣利用率要求。此款設備適用于MicroLED多種材料刻蝕,覆蓋藍綠、紅黃芯片制造全流程,具有精準的線寬控制與高速刻蝕能力,可實現穩定量產并具備優異的刻蝕均勻性。同時,該設備配置的Cassette in Cassette out自動生產模式可實現優良的顆??刂颇芰?。



  NAURA LED PECVD設備采用托盤載片和多站動態作業模式,為MicroLED芯片制造提供了先進的PECVD工藝設備解決方案。通過對鍍膜方式的迭代升級,實現了更優的片內和片間均勻性;通過對反應腔上下電極系統的優化設計,實現了更大的單機產能輸出能力。近年來,NAURA LED PECVD設備的顆??刂颇芰σ约白詣踊潭让黠@提升,可實現工廠端自動化生產,能夠滿足MicroLED對芯片制造的要求。

  隨著LED顯示技術和產品的不斷創新,新技術的每一次超越與落地,對于行業發展都具有重大意義。在未來,NAURA將用更多的創新熱情與業界同仁一起帶給產業更多可能!




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