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北方華創再獲北京市科學技術進步獎一等獎
發布時間:2021-09-30

  近日,2020年度北京市科學技術獎獲獎名單正式發布。該年度內北京市科學技術獎共收到提名書633份,北京北方華創微電子裝備有限公司(以下簡稱“北方華創”)“12英寸先進集成電路制程電感耦合等離子刻蝕機研發及產業化項目”,經層層評選,喜獲北京市科學技術進步獎一等獎!


  “12英寸先進集成電路制程電感耦合等離子刻蝕機研發及產業化項目”是由北京北方華創微電子裝備有限公司、上海集成電路研發中心有限公司、中科院微電子研究所共同完成的集成電路技術領域的科研成果。12英寸先進集成電路制程電感耦合等離子刻蝕機是北方華創歷經多年自主創新,取得的突破性研發成果。該設備采用自主知識產權、大面積、低容性的新型高密度等離子體源系統設計,實現了刻蝕均勻性的精確控制,并通過高效穩定的晶圓傳輸、顆粒和金屬污染控制等關鍵技術設計,提升了設備量產性能。目前,12英寸先進集成電路制程電感耦合等離子刻蝕機,已通過主流芯片生產線的工藝和量產驗證,并實現批量銷售。

  奮力譜華章,邁向新征程。12英寸先進集成電路制程電感耦合等離子刻蝕設備的研發和量產實現了我國集成電路刻蝕設備的產業化與技術跨越,為中國集成電路產業的技術進步提供了有力支撐。

  一年一度的北京市科學技術獎,是一份獎勵本市行政區域內對科技創新和發展做出突出貢獻的組織和個人榮譽。此前,北方華創的“100納米等離子刻蝕機項目”、“大產能高亮度LED刻蝕機研發及產業化”、“磁控濺射設備(PVD)研發及產業化”、“燃料電池氣體流量控制系統”和 “12英寸28nm金屬硬掩膜物理氣相沉積設備研發及產業化”等多項產品和研發項目曾獲此殊榮。

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